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領(lǐng)域	詳細(xì)說(shuō)明	應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器	針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器具有多入口泵組的定制泵低成本、易于使用、高分析性能對(duì)于 GC/MS，提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無(wú)機(jī)樣品的中等真空接口對(duì)于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng) 對(duì)于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池對(duì)于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備	質(zhì)譜 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空應(yīng)用	非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高壓縮可以以任意角度安裝聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體	高能物理融合技術(shù) 一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工	為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵	薄膜沉積：玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)（光電）光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤）磁性存儲(chǔ)介質(zhì) 表面處理光學(xué)涂層（眼科、精密光電）膜或箔上的輥式/卷繞涂覆設(shè)備加工：生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)） X 射線管和電子設(shè)備一般工藝：真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器	分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì) 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng) 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析可快速、無(wú)油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖通過(guò)對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵，可提高工具的可靠性聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處	電子顯微鏡（SEM、TEM）聚焦離子束系統(tǒng) (FIB) 表面分析半導(dǎo)體制造

*N₂ 抽速 ()**	N₂：2050 L/s
*He 抽速 ()**	N₂：1800 L/s
*H₂ 抽速 ()**	1500 L/s
N₂ 壓縮比	> 8 × 10⁸
He 壓縮比	8 × 10⁵
H₂ 壓縮比	4 × 10⁴
*極限真空（使用推薦的前級(jí)泵）**	10^-10 mbar (7.5 x 10^-11 Torr) (**)
N₂ 最大前級(jí)壓力	4 mbar
入口法蘭	ISO 250F，CFF 12 英寸（外徑）
前級(jí)管道法蘭	KF 40 NW

額定轉(zhuǎn)速	33300 rpm
使用推薦前級(jí)泵，無(wú)氣體負(fù)載的啟動(dòng)時(shí)間	< 6 分鐘
*H₂ 抽速 ()**	1500 L/s
推薦的最小前級(jí)泵	TriScroll 600
工作位置	垂直/倒立
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +35 °C
烘烤溫度	120 °C (CFF)，80 °C (ISO)
最高轉(zhuǎn)子溫度	120 °C
振動(dòng)參數(shù)（位移）	在入口法蘭處小于 0.01 μm
潤(rùn)滑油	永久性潤(rùn)滑
冷卻要求	水
冷卻水	建議流速：200 L/h 溫度：+15 °C 至 +30 °C 壓力：3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪音水平	1 米內(nèi)小于 60 dB(A)
儲(chǔ)存溫度	-20 °C 至 +70 °C
環(huán)境保護(hù)	IP54
重量	ISO 250：54.2 kg（119.5 磅） CFF 12 英寸：55.3 kg（121.9 磅）

輸入電壓	100-120 VAC，220-240 Vac，1 相
輸入頻率	50-60 Hz
最大輸入功率	1300 VA
輸出電壓	64 Vac
輸出頻率	555 Hz
啟動(dòng)時(shí)的輸出功率	最大 560 W
額定輸出功率	最大 450 W
重量（兩種型號(hào)）	12.5 kg（28 磅）
安裝類別	II
污染等級(jí)	2