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型號(hào)：Turbo-V 2K-G
特點(diǎn)：Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺(tái)泵。它是專(zhuān)門(mén)為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的專(zhuān)用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以工作在高氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中。此外，它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和充氮?dú)獗Ｗo(hù)閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
市場(chǎng)價(jià)：￥咨詢(xún)
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Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺(tái)泵。它是專(zhuān)門(mén)為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的專(zhuān)用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以工作在高氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中。此外，它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和充氮?dú)獗Ｗo(hù)閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
特性：
1、首款為薄膜沉積應(yīng)用而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的分子泵解決方案
2、現(xiàn)有的高性能、緊湊的儀器
3、首個(gè)采用完全集成的方法很大程度提高系統(tǒng)效率和正常運(yùn)行時(shí)間的渦輪分子泵
4、將渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
5、通用電子器件接口并配有操作簡(jiǎn)單的控制軟件模擬 I/O 信號(hào)以及 RS232/RS485 接口等標(biāo)準(zhǔn)配置
6、安捷倫 Profibus 接口（可選）
7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus）
渦輪分子泵應(yīng)用范例：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿(mǎn)足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶(hù)還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用：
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說(shuō)明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
|
|
| 科研中的真空應(yīng)用 |
|
|
| 工業(yè)真空加工 |
|
薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
|
| 納米技術(shù)儀器 |
|
|
技術(shù)規(guī)格：
| 抽速： |
N2：1600 L/s
|
?? |
| 壓縮比： | N2：3 × 105 | |
| 極限真空*（使用推薦的前級(jí)泵） | < 1 × 10-8 mbar | |
| 入口法蘭 | ISO 250F | |
| 前級(jí)管道法蘭 | KF 40 NW | |
| 額定轉(zhuǎn)速 | 33000 rpm | |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | < 7 分鐘 | |
| 推薦的前級(jí)泵 | > 40 m3/h | |
| 工作位置 | 任意位置 | |
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |
|
電源 輸入電壓 輸入頻率 |
100–240 Vac 50-60 Hz |
|
| 通訊接口 |
模擬 I/O RS232/RS485 Profibus |
標(biāo)準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn) 可選 |
| 尺寸 |
高度
重量 直徑 |
335 mm（13.18 英寸）
335 mm（13.18 英寸） 35 kg（77 磅） |
* 根據(jù)德國(guó)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428。
Turbo-V 2K-G外形圖
Turbo-V2K-G抽速與入口壓力關(guān)系圖
Turbo-V2K-G壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系圖
